诺克森-提供净化工程解决方案

某半导体净化车间

常规区要求：千级净化、防静电。核心区：百级净化

温度：22℃±2；湿度：55%±5；满布FFU，做高架地板。做MAU+FFU+DC系统。还有保持正压，相邻房间压力梯度保证在10pa左右。采用垂直单向流的气流形式，首先通过初效过滤器将空气中的大颗粒粉尘粒子过滤掉。接着再通过高效过滤器进行二次过滤，以这样的方式过滤掉空气中更细小的粒子。在离心风机提供的压力下，再次通过高效过滤器，使之达到洁净要求。根据不同洁净度的要求，可以适当重复以上步骤，已达到规定的洁净要求。所有气流均经过高效过滤器处理，所以送风，排风均不带残余粉尘，避免了二次污染。由于在工作区域形成稳定的单向流，起到保护外部环境的作用。